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浅谈分子泵维修的操作要求

       分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
  分子泵维修的操作要求:
  1、分子泵的气路接口的快接法兰的螺杆应朝上,以防松弛造成漏气;
  2、不能在大气状态下开分子泵,必须在达到10Pa时才能打开其相应的高阀,开启分子泵;
  3、当M2(箱体2)或M7的真空度始终抽不到位时,应检查旋片泵的电磁阀工作是否正常;
  4、在开分子泵前必须打开冷却水阀;在分子泵的叶轮停止运转后,必须关闭冷却水阀;
  5、每次停机后,务必清洁各分子泵的进气口处,使其保持干净,以避免不必要的损坏;
  6、当出现报警信息“EF”时,应检查冷却水路是否通畅,可用器枪检查。确保水路顺畅后,方可再次打开分子泵。而当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵,待后处理;
  7、在分子泵出现问题而不能使用时,应暂停生产,手动充大气后,更换备用的分子泵;
  8、当始终达不到分子泵启动条件时,应检查前级泵和电磁阀工作是否正常;
  9、当分子泵出现故障时,须根据故障提示作相应处理。
  这种分子泵维修具体可分为:
  1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
  2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
  3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
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